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當前位置:首頁   >  產品中心  >  勻膠顯影機  >  自動顯影機  >  DM200-SE全封閉式桌面顯影機

全封閉式桌面顯影機

簡要描述:全封閉式桌面顯影機 主要用于半導體制造中晶片的顯影工藝,性價比高,穩定性好,重復性好,對顯影作業有非常理想的效果。設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動,實現自動顯影和清洗作業。

  • 所在城市:無錫市
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新日期:2024-03-05
  • 訪  問  量:3105

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詳細介紹

品牌LEBO/雷博產地類別國產
應用領域醫療衛生,化工,能源,電子產品尺寸550mm (W) x600mm (D) x405mm (H)

產品優勢

·全封閉式顯影,避免霧氣擴散到外部,污染環境。

·外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。

·內腔鍍特氟龍,光滑,耐腐蝕,易清洗。

·內置真空過濾器,防止液體吸入真空泵。

·真空壓力可調,壓力值實時顯示。

·液體流量可調,回吸可調。


產品參數

支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)

·轉速分辨率:±1 RPM

·旋涂速度:20-3000rpm(空載)

·旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)

·工藝時間設定: 0-3,000sec/step,時間設置精度: 0.1sec

·該機型適用于標準3路顯影機(1路洗衣液,1路純水,1路氮氣)

·單步工藝及多步工藝可選,內置100組可編輯程序

·可根據客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。


設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動,實現自動顯影和清洗作業。


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