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自動顯影勻膠機

簡要描述:全新外觀設計,適配實驗室實驗操作
先進的設計理念,模塊化設計
可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
可實現不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動控制系統,提高實驗精度及重復性

  • 所在城市:無錫市
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新日期:2024-03-05
  • 訪  問  量:3508

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詳細介紹

品牌LEBO/雷博產地類別國產
應用領域能源,電子

產品特點

全新外觀設計,適配實驗室實驗操作

先進的設計理念,模塊化設計

可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

可實現不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運動控制系統,提高實驗精度及重復性


產品參數

轉速范圍:20-10000rpm

轉速分辨率:±1rpm

加速度可調范圍:20-50000rpm/s

單步時長:3000s

時間分辨率:0.1s

適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤

顯影噴嘴距離基片高度可調,可調范圍10-50mm

可添加背洗功能(根據客戶需求而定)








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